超臨界CO2を用いたエアフィルタ再生技術 - 製品とシステム|ダイダン株式会社

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超臨界CO2を用いたエアフィルタ再生技術

超臨界CO2を用いたエアフィルタ再生技術

ダイダンでは建築設備設計・施工の分野を超えた新しい事業として、有機ガス除去用エアフィルタや活性炭を洗浄・再生するクリーニングサービスを実施しています。

超臨界CO2を用いたエアフィルタ再生とは

超臨界CO2とは、温度31.1℃、圧力7.38MPa(73気圧)以上のCO2(二酸化炭素)のことで、気体並の高い流動性・浸透性と、液体並の強い溶解力を持った状態のCO2です。当社はこの超臨界CO2を利用し、今まで再生する方法がなかった有機ガス除去用エアフィルタや、新品同等の性能まで再生することができなかった活性炭を洗浄・再生する技術を開発しました。

 ※本技術は、東北大学、及び産業技術総合研究所との共同研究により開発しました。
 ※本技術は、独創性・有効性・事業性が高く評価され、平成20年度NEDOイノベーション実用化助成事業に採択されました。
 ※本技術は、経済的効果、及び環境負荷低減に貢献することが高く評価され、化学工学会の平成24年度化学工学会賞 技術賞を受賞しました。

再生ニーズとメリット

有機ガスを吸着する性能が低下した使用済みのフィルタを当社で洗浄し、性能を回復させて返却します。新品に交換するよりも超臨界CO2で再生する方がランニングコスト(交換費用)の面で有利であり、廃棄物が発生しません。
活性炭を再生する従来技術として、加熱再生法がありますが、高温加熱により細孔が拡大し、吸着性能が新品より劣化したり、炭粉が発生したりとデメリットがあります。一方、超臨界CO2は常温に近い温度で、汚れを溶かし出すことができ、活性炭の細孔やフィルタの構造体にダメージを与えることなく洗浄ができます。

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再生対象

超臨界CO2で洗浄できる汚れは有機成分(VOC、油脂)です。有機成分が付着したフィルタや活性炭・吸着剤が再生対象となります。室内や屋外の空気清浄等を目的として、様々な施設の空調処理に用いられています。

※VOC: Volatile Organic Compounds(揮発性有機化合物)

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再生評価

以下にフィルタの吸着性能を評価した結果を示します。フィルタ上流のトルエンは、新品フィルタを通過することで98%が除去できました。一方、使用済みのフィルタでは、除去性能が低下し、吸着していた成分が流れ出てしまいます。対して使用済みを洗浄した再生品は、新品同等まで除去性能が回復しています。

再生実績

ユーザー再生対象
電子デバイス  A社 外気処理用フィルタ,製造装置用フィルタ
電子デバイス  B社 ウエハ検査装置用フィルタ
電子デバイス  C社 製造装置用フィルタ
電子デバイス  D社 製造装置用フィルタ
半導体材料   E社 ファンフィルタユニット用フィルタ
研究分析機関  F社 ドラフトチャンバ排気吸着用エアフィルタ
大規模商業施設 G社 厨房排気脱臭用エアフィルタ

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